Agrément ASML
TERA Environnement est le seul en Europe à maîtriser les compétences et le savoir‑faire exigés par ASML
ASML est un leader mondial des équipements de lithographie pour l’industrie des semi‑conducteurs, spécialisé dans les technologies DUV (Deep Ultraviolet) et EUV (Extreme Ultraviolet) indispensables à la fabrication des circuits intégrés.
Basée aux Pays‑Bas, l’entreprise joue un rôle stratégique dans l’écosystème microélectronique en fournissant les systèmes utilisés par les plus grands fabricants de puces au niveau mondial.
Le laboratoire TERA Environnement possède désormais un agrément délivré par ASML pour les mesures AMC (Airborne Molecular Contamination)
Tera annonce que son laboratoire est désormais référencé au sein de la société ASML pour la réalisation des mesures d’Airborne Molecular Contamination (AMC) dans l’environnement des équipements lithographiques.
Cette reconnaissance constitue une étape majeure : elle atteste que l'expertise, les méthodes d’analyse et la rigueur opérationnelle de TERA ENVIRONNEMENT répondent aux exigences techniques des scanners et steppers ASML, les systèmes de photolithographie les plus avancés au monde.
ASML impose des niveaux d’exigence extrêmement stricts pour garantir la performance optique et la disponibilité de ses outils, et seuls des laboratoires techniquement qualifiés peuvent contrôler l’environnement AMC autour de ces équipements.
Huit laboratoires dans le monde disposent de cet agrément et TERA Environnement est le seul en Europe à maîtriser les compétences et le savoir‑faire exigés par ASML. Cette distinction prend d’autant plus d’importance que l’Union européenne, dans le cadre de son règlement européen sur les semi‑conducteurs, ambitionne de renforcer sa souveraineté technologique en doublant sa part du marché mondial pour atteindre 20 %.
Pourquoi la mesure des contaminants moléculaires aéroportés (AMC) est-elle essentielle en environnement lithographique ?
En fabrication microélectronique, les AMC (parmi lesquels acides, bases, amines, composés organiques condensables ou réfractaires) sont critiques pour des procédés sensibles. À des niveaux parfois inférieurs au pptV, certains de ces contaminants peuvent :
Au fur et à mesure de la miniaturisation des produits, la maîtrise de la contamination moléculaire est devenue incontournable dans les fabs de dernière génération, autant pour les scanners DUV (Deep Ultraviolet) que pour les équipements EUV (Extreme Ultraviolet).
L'agrément ASML vient confirmer que les protocoles d’analyses de TERA Environnement répondent précisément aux spécifications du constructeur
TERA Environnement est spécialisé dans l’analyse de l’air de salle blanche depuis plus de 20 ans et notamment dans l’analyse d’acides, de bases, d’amines, de composés organiques volatils, de composés organiques condensables et réfractaires.
Nous accompagnons nos clients en amont et en aval de l’installation d’un équipement ASML :
Mesures AMC en environnement machine lors de l’arrivée d’un nouveau scanner afin de valider sa conformité aux exigences OEM (Original Equipment Manufacturer).
Mesures AMC ciblées avant remise en production afin d’éviter tout risque optique ou process.
Vérifications amont/aval pour s’assurer du bon fonctionnement des filtres, conformément aux attentes ASML et aux garanties liées aux modules optiques.
Analyse complète des profils AMC pour identifier rapidement l’origine d’une contamination ou d’une baisse de performance.
Une reconnaissance dans l'accompagnement des fabricants de semi‑conducteurs depuis plus de 20 ans
Cet agrément ASML renforce et confirme l'expérience de TERA Environnement dans les analyses d’air pour les acteurs de la microélectronique depuis plus de 20 ans. Son expertise de pointe, sa capacité à proposer des analyses dans les environnements les plus sensibles, et son engagement à fournir des analyses fiables, rapides et adaptées aux enjeux de la lithographie avancée sont désormais pleinement reconnus.
TERA Environnement est prêt à accompagner les fabs dans :